Katódíves plazma leválasztási technológia alkalmazása. A katódos íves plazmaleválasztás egy viszonylag új vékonyréteg-leválasztási technológia, amely sok tekintetben hasonlít az ionos bevonáshoz. Előnyei: nagy ionizációs sebesség a kibocsátott részecskeáramban, és ezek az ionizált ionok nagy kinetikus energiával (40-100eV) rendelkeznek.
Az ionsugaras leválasztás számos előnye, mint például a jobb adhézió, a megnövekedett állapotsűrűség és az összetett filmképződéssel szembeni nagy reakcióképesség, mind tükröződik a katódos ívplazma-leválasztásban. A katódos ívplazma-leválasztásnak megvannak a maga egyedi előnyei, mint például az összetettebb formájú szubsztrátumokra való lerakódás, nagy leválasztási sebesség, jó bevonategyenletesség, alacsony szubsztrátum-hőmérséklet, valamint ideális vegyi arányú vegyületek vagy ötvözetek egyszerű elkészítése. .
A katód anyaga a párolgási folyamat során a nagy áramsűrűség miatt elpárolog, és a keletkező párolgás elektronokból, ionokból, központi gázfázisú atomokból és részecskékből áll. A katódív pontján az anyag szinte azonnal ionizálódik. Az ionok a katód felületére majdnem merőleges irányban bocsátanak ki. Amikor a nagyenergiájú krómionok a nitrogénbe ütköznek, azonnal kémiai reakción mennek keresztül, és gázneművé válnak. Króm-nitrid molekulák.
