A magnetronos porlasztásos titáncél nyersanyag-előkészítési technológiai módszere a gyártási folyamat szerint két kategóriába sorolható: elektronsugaras olvasztó tuskó (a továbbiakban: EB tuskó) és vákuumfogyasztó elektromos ívkemencében olvasztó tuskó (a továbbiakban (VAR) tuskó) ).
A cél-előkészítési folyamat során az anyag tisztaságának, sűrűségének, szemcseméretének és kristályorientációjának szigorú ellenőrzése mellett a hőkezelési folyamat körülményeit és az azt követő formázási folyamatokat is szigorúan ellenőrizni kell a cél minőségének biztosítása érdekében.
A nagy tisztaságú titán nyersanyagainál általában olvasztó elektrolízist alkalmaznak a titánmátrixban lévő magas olvadáspontú szennyeződések eltávolítására, majd a további tisztításhoz vákuum-elektronsugaras olvasztást alkalmaznak.
A vákuumos elektronsugaras olvasztásnál nagy energiájú elektronsugarak bombázzák a fémfelületet, majd a hőmérséklet fokozatosan emelkedik, amíg a fém megolvad. A magas gőznyomású elemek előnyösen elpárolognak, míg az alacsony gőznyomású elemek az olvadékban maradnak. A szennyező elemek és a mátrix közötti kölcsönhatás Minél nagyobb a gőznyomás különbség, annál jobb a tisztító hatás.
Az olvasztás utáni vákuumfinomítás előnye, hogy eltávolítja a szennyező elemeket a titán mátrixból anélkül, hogy más szennyeződéseket visz be. Ezért, amikor a 99,99%-os elektrolitikus titánt elektronsugárral megolvasztják nagy vákuum környezetben (10-4 felett), akkor a nyersanyagban lévő szennyező elemek (Fe, Co, Cu), amelyek telített gőznyomása nagyobb, mint a telített gőzé maga a titán elem nyomása előnyösen elpárolog. Csökkentse a mátrix szennyezőanyag-tartalmát a tisztítás céljának elérése érdekében.
A két módszer kombinációjával 99,995-nél nagyobb tisztaságú, nagy tisztaságú titánfém nyerhető. A 99,9%-os tisztaságú titán alapanyagokhoz gyakran használnak 0 minőségű szivacstitánt, amelyet vákuumban fogyasztható elektromos ívkemencében megolvasztanak, majd melegen kovácsolnak kis méretű tuskóvá. Az ezzel a két módszerrel előállított fém titán alapanyagok szabályozzák a teljes porlasztási felület mikroszerkezetét, hogy termomechanikai deformáció révén konzisztens legyen, majd magnetronos porlasztó titán céltárgyakká dolgozzák fel az integrált áramkörök előállításához olyan folyamatokkal, mint a megmunkálás, kötés, tisztítás és csomagolás.
